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大角度衍射光學元件

光電所獲取大角度衍射光學元件批量化制備新方法(2016-04-27)

中國科學院光電技術研究所微電子裝備總體研究室微光學組在大角度衍射光學元件批量化制備方法研究中取得新進展：提出了一種基于納米壓印技術的大角度衍射光學元件批量化低成本制備新方法。由于納米…[詳情]

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