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MEMS傳感器
上海微技術(shù)工業(yè)研究院攜手IMT 推進(jìn)MEMS傳感器發(fā)展(2016-05-04)
上海微技術(shù)工業(yè)研究院（SITRI）日前與美國(guó)最大的MEMS技術(shù)和制造服務(wù)提供商IMT（Innovative Micro Technology）簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，雙方攜手面向物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用MEMS傳感器技術(shù)創(chuàng)新，共同推進(jìn)MEMS技術(shù)發(fā)展。…[詳情]
國(guó)內(nèi)首條工廠化非半導(dǎo)體基底材料的MEMS傳感器生產(chǎn)線即將誕生(2016-03-11)
隨著科技的發(fā)展，智能機(jī)器人逐步進(jìn)入了人們的生活。傳感器作為機(jī)器人的硬件之一，市場(chǎng)隨著其發(fā)展而持續(xù)擴(kuò)大。…[詳情]
中科院地質(zhì)地球所發(fā)明一種MEMS傳感器的集成封裝方法(2016-01-04)
目前，電子元器件芯片朝著越來(lái)越復(fù)雜的方向發(fā)展，而傳統(tǒng)的IC集成器件封裝和金屬管殼封裝都會(huì)帶來(lái)困難。例如MEMS傳感器，為了提高其性能，往往需要增加可動(dòng)質(zhì)量塊的厚度，使用傳統(tǒng)的IC集成器件封裝技術(shù)…[詳情]