等離子體降解有機廢氣是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。

    等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。占地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快、停止十分迅速，隨用隨開。但一次性投資稍高，有些企業就難以接受，但從長遠角度看，這樣的技術儀器是不錯的