真空煅燒爐（也叫真空清洗爐）適用于化纖行業的滌綸、腈綸和丙綸生產用的組件、噴絲板、過濾芯等清潔處理，也適用于塑料、電纜、紡織行業清潔之用。 真空清洗爐利用高分子聚合為在300℃左右時可熔融，高于300℃隔絕空氣可裂解焦化，高于400℃在有少量空氣并有一定真空度的環境中可完全氧化的特性，先將粘有高分子污物的工件加熱到300℃（根據工藝要求擬定），使工件上數量較多的高分子聚合物溶化后流淌到爐膛下部的收集容器內，然后再將爐溫升到400-500℃，同時打開真空泵，并通入少量新鮮空氣，使剩余的聚合物充分氧化，生成的二氧化碳，經水噴淋后通過水環式真空泵抽吸，和水一起排出爐外。

真空爐包括真空清洗爐體、爐蓋及所帶的廢料收集系統、真空系統、密封系統、由微機控制工作的電加熱系統、水冷卻系統和清洗物裝卸系統。

真空清洗爐按照結構可以分為：軌道式真空清洗爐、井式空清洗爐、立式空清洗爐、臥式空清洗爐、大容量真空清洗爐等。