企業新聞,鄭州科探儀器設備有限公司,磁控濺射"/>

亚洲二区在线_中文字幕专区_91在线免费视频_二区免费视频_91av入口_日本激情视频

您現在的位置: 全球化工設備網 >> 鄭州科探儀器設備有限公司 >> 企業新聞 >> 正文
聯系方式
聯系人: 孟慶武(先生)
電  話: 15136134901
傳  真: 0371-60308298
手  機: 15136134901
網  址:

磁控濺射技術原理及應用簡介

作者:宋工 來源:原創 2023-11-04 瀏覽量:89
字號:T | T
磁控濺射是一種常用的物理氣相沉積(PVD)的方法,具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好,成分接近靶材成分等眾多優點。

磁控濺射技術原理及應用簡介

一、磁控濺射原理

磁控濺射是一種常用的物理氣相沉積(PVD)的方法,具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好,成分接近靶材成分等眾多優點。傳統的濺射技術的工作原理是:在高真空的條件下,入射離子(Ar+)在電場的作用下轟擊靶材,使得靶材表面的中性原子或分子獲得足夠動能脫離靶材表面,沉積在基片表面形成薄膜。但是,電子會受到電場和磁場的作用,產生漂移,因而導致傳濺射效率低,電子轟擊路徑短也會導致基片溫度升高,為了提高濺射效率,在靶下方安裝強磁鐵,中央和周圈分別為NS極。電子由于洛倫茲力的作用被束縛在靶材周圍,并不斷做圓周運動,產生更多的Ar+轟擊靶材,大幅提高濺射效率,如圖所示,采用強磁鐵控制的濺射稱為磁控濺射。

 


         
磁控濺射原理                                                               磁控濺射設備

1.png637852830951780038369.jpg


 

 

 

 

二、磁控濺射優點

1沉積速率快,沉積效率高,適合工業生產大規模應用

2基片溫度低,適合塑料等不耐高溫的基材鍍膜

3制備的薄膜純度高、致密性好、薄膜均勻性好、膜基結合力強

4可制備金屬、合金、氧化物等薄膜

5環保無污染。

三、應用實例

      鍍金效果       鍍鐵效果            鍍銅效果



 


 下圖為銅膜AFM

637940191338469215619.png


下圖為銅膜光鏡圖

637940191144736784455.png

鄭州科探儀器設備有限公司

聯系人:孟慶武   聯系電話:15136134901   傳真:0371-60308298  

技術支持:全球化工設備網    管理員入口  

主站蜘蛛池模板: 成人毛片在线观看 | 亚洲一区二区免费 | 久久艹综合 | 想要xx在线观看 | 亚洲成人中文字幕在线 | 精品久久久久久久久亚洲 | 久久精热 | 国产精品视频免费在线观看 | 国产成人高清成人av片在线看 | 日韩午夜一区二区三区 | 日韩欧美高清片 | 精品国产一区二区三区免费 | 久久精品一区视频 | 精品国产一区二区三区四区阿崩 | 西川av在线一区二区三区 | 国产精品999在线 | 国产亚洲高清在线精品不卡 | 懂色av懂色aⅴ精彩av | 亚洲一区二区三区视频 | 91久久国产露脸精品国产 | 九九热精品视频在线免费观看 | 一区二区三区日韩电影 | 亚洲欧洲日产v特级毛片 | 把娇妻调教成暴露狂 | 亚洲成人国产综合 | 中国hd高清xxxxvideo | 91九色精品 | 成人欧美日韩一区二区三区 | 成人黄色免费视频 | 免费久久久久久 | 在线观看免费毛片视频 | 午夜激情视频网站 | 一区二区三区日韩在线观看 | 91精品国产乱码久久久久久久久 | 极品xxxx欧美一区二区 | 国产91亚洲精品久久久 | 亚洲国产成人久久成人52 | 国产精品成人一区二区三区吃奶 | 欧美日韩在线视频一区 | 日本aaa一级片 | 日韩精品久久久久久久电影99爱 |