英文題名】 The Development of Parameter Design about Dry Screw Vacuum Pump
【作者中文名】 王鑫;
【導師】 徐成海;
【學位授予單位】 東北大學;
【學科專業名稱】 流體機械及工程
【學位年度】 2006
【論文級別】 碩士
【網絡出版投稿人】 東北大學
【網絡出版投稿時間】 2006-10-25
【關鍵詞】 螺桿型干式真空泵; Solidworks; 參數化設計;
【英文關鍵詞】 dry screw vacuum pump; Solidworks; the parameter design;
【中文摘要】 近年來在半導體工業和液晶顯示器制造工藝中，對清潔真空環境的要求越來越高，而傳統的有油真空泵已經達不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點，得到越來越多制造和應用單位的重視，在干式真空泵市場中占有重要的地位。在歐美和日本等發達國家，螺桿型干式真空泵在很多領域已經越來越多的代替了傳統的有油泵。但由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。為改變這種狀況，實現螺桿型干式真空泵的國產化，本文采用參數化設計方法，旨在簡化螺桿型無油真空泵的設計和加工過程，使其早日在中國實現產業化，為新興工業的發展提供清潔的真空環境。 本文首先討論了目前常用的螺桿型干式真空泵轉子類型，給出了幾種型線方程，分析了幾種型線適用條件；接下來討論了螺桿泵的泵體結構形式及軸上各零件的選擇標準，給出了幾種常用的泵體結構和軸類零件供選擇。 在開發工具的選擇方面，本文首先討論了目前進行二次開發比較流行的開發平臺和開發語言，比較了幾種軟件的優缺點，最后確定采用VB語言在Solidworks開發平臺上進行參數化設計。 ...
【英文摘要】 Recently, in the semiconductor manufacture process, it has high demand of vacuum environment cleanliness. The conventional oil vacuum pump can t meet the condition. Therefore, with wide bound pumping speed, simple structure, friction-free rotor, long life, low energy consumption and oil-free, the dry screw vacuum pump is recognized by more and more companies, it has a important station in the field of oil-free vacuum pump. In many developed countries, such as America, Japan, conventional oil vacuum pump has...
【DOI】 cnki:CDMD:10145.2.2006.5110