6月30日，中國科學院寧波材料技術與工程研究所承擔的2項中國科學院科研裝備研制項目——“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統”和“高離化率磁控濺射復合受控陰極電弧鍍膜裝置”順利通過了中國科學院條件保障與財務局組織的驗收。條財局副局長曹凝等出席了驗收會。

　　上午，2組測試專家組分別聽取了各項目組測試說明，審議和確認了測試大綱，根據實施方案規定的要求從研制裝備的運行、使用情況、技術測試實驗結果等角度對各項技術指標逐一進行現場測試，形成技術測試報告。

　　下午，驗收專家組聽取了2個項目組工作報告、財務報告、使用報告和測試專家組的測試報告，現場查看了裝備的運行情況，查閱了文件檔案及相關財務賬目。驗收專家組認為，項目承擔單位完成了實施方案規定的研制任務，達到了研制目標，同意2個項目通過驗收。

　　“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統”項目研制了一套具有核心專利技術的新型納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統。該裝備由掃描探針顯微鏡工作平臺、磁-電-熱多參量耦合信號獲取探針、多參量信號分離系統、多物理場外場施加模塊、多參量聯用控制軟件等組成。通過項目的研制獲得了磁學、電學和熱學同步實時原位探測功能模塊，可同時原位探測磁學、電學和熱學參數，實現了磁-電、磁-熱、電-熱同步實時原位探測功能的多參量耦合聯用功能。課題組使用該系統開展了BiFeO3-CoFe2O4自組裝納米復合薄膜材料中電場原位調控磁性的研究，為新型低功耗高密度存儲器件的研究奠定了實驗基礎。

　　“高離化率磁控濺射(HIPIMS)復合受控陰極電弧鍍膜裝置”項目通過對高功率磁控管模塊、受控陰極電弧源模塊、HIPIMS電源、關鍵子系統、PLC控制等的設計優化和適配加工，研制出了一套具有核心專利技術的高功率脈沖磁控濺射復合受控陰極電弧鍍膜裝置，該裝備具有離化率高、放電穩定、繞射性好、大面積均勻、運行可靠的特點。利用該裝置，不僅實現了以TiAlSiN與DLC為主的兩類目標硬質涂層材料高質量制備；且光譜與探針原位診斷表明，HIPIMS技術實現了金屬Ti的離化率達80%，等離子體密度達1019/m3。另外，該裝置具有良好功能拓展性，能實現CrB2超硬涂層和高純MAX相防護涂層的設計與制備。

　　寧波材料所副所長瞿榮輝等一同參加了驗收會。

驗收會現場 

“納米磁-電-熱多參量耦合原位表征系統”項目測試現場 

“高離化率磁控濺射(HIPIMS)復合受控陰極電弧鍍膜裝置”項目測試現場