SMC平行密封型門閥XGTP系列
作者： 2018年03月30日 來源：全球化工設備網 瀏覽量：
字號：T | T
SMC最新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構，可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。◇長壽命：300萬次（常溫時）???◇低發塵：發塵量減少到1/5以下（與舊型
SMC最新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構，可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。
◇ 長壽命：300萬次（常溫時）
???◇ 低發塵：發塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）
???◇ 省氣：耗氣量減少22%
???◇ 輕量：14kg（盒式）
???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm
平行密封構造
▼門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構造，降低了摩擦系數，可大幅減少發塵量并延長使用壽命。
應用場合
▼半導體加工過程中，針對各工藝腔室之間的隔離。
▼您也可以通過以下視頻了解到更詳細的產品規格及特性。
▼您也可以通過以下視頻了解到更詳細的產品規格及特性。
以上信息版權歸上海維特銳所有，如需詳細了解請點擊：日本SMC系列產品
全球化工設備網（http://m.zxgqho79194.cn ）友情提醒，轉載請務必注明來源:全球化工設備網！違者必究.
標簽：
相關技術
免責聲明：1、本文系本網編輯轉載或者作者自行發布，本網發布文章的目的在于傳遞更多信息給訪問者，并不代表本網贊同其觀點，同時本網亦不對文章內容的真實性負責。
2、如涉及作品內容、版權和其它問題，請在30日內與本網聯系，我們將在第一時間作出適當處理！有關作品版權事宜請聯系：+86-571-88970062
2、如涉及作品內容、版權和其它問題，請在30日內與本網聯系，我們將在第一時間作出適當處理！有關作品版權事宜請聯系：+86-571-88970062
推薦技術