用于測(cè)定材料本身厚度或材料表面覆蓋層厚度的儀器。有些構(gòu)件在制造和檢修時(shí)必須測(cè)量其厚度，以便了解材料的厚薄規(guī)格，各點(diǎn)均勻度和材料腐蝕、磨損程度；有時(shí)則要測(cè)定材料表面的覆蓋層厚度，以保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全。根據(jù)測(cè)定原理的不同，常用測(cè)厚儀有超聲、磁性、渦流、同位素等四種。

超聲波測(cè)厚儀超聲波在各種介質(zhì)中的聲速是不同的，但在同一介質(zhì)中聲速是一常數(shù)。超聲波在介質(zhì)中傳播遇到第二種介質(zhì)時(shí)會(huì)被反射，測(cè)量超聲波脈沖從發(fā)射至接收的間隔時(shí)間，即可將這間隔時(shí)間換算成厚度。在電力工業(yè)中應(yīng)用最廣的就是這類測(cè)厚儀。常用于測(cè)定鍋爐鍋筒、受熱面管子、管道等的厚度，也用于校核工件結(jié)構(gòu)尺寸等。這類測(cè)厚儀多是攜帶式的，體積與小型半導(dǎo)體收音機(jī)相近，厚度值的顯示多是數(shù)字式的。對(duì)于鋼材，最大測(cè)定厚度達(dá)2000 mm左右，精度在±0.01～±0.1 mm之間。

磁性測(cè)厚儀在測(cè)定各種導(dǎo)磁材料的磁阻時(shí)，測(cè)定值會(huì)因其表面非導(dǎo)磁覆蓋層厚度的不同而發(fā)生變化。利用這種變化即可測(cè)知覆蓋層厚度值。常用于測(cè)定鐵磁金屬表面上的噴鋁層、塑料層、電鍍層、磷化層、油漆層等的厚度。

渦流測(cè)厚儀當(dāng)載有高頻電流的探頭線圈置于被測(cè)金屬表面時(shí)，由于高頻磁場(chǎng)的作用而使金屬體內(nèi)產(chǎn)生渦流，此渦流產(chǎn)生的磁場(chǎng)又反作用于探頭線圈，使其阻抗發(fā)生變化，此變化量與探頭線圈離金屬表面的距離（即覆蓋層的厚度）有關(guān)，因而根據(jù)探頭線圈阻抗的變化可間接測(cè)量金屬表面覆蓋層的厚度。常用于測(cè)定鋁材上的氧化膜或鋁、銅表面上其他絕緣覆蓋層的厚度。

同位素測(cè)厚儀利用物質(zhì)厚度不同對(duì)輻射的吸收與散射不同的原理，可以測(cè)定薄鋼板、薄銅板、薄鋁板、硅鋼片、合金片等金屬材料及橡膠片，塑料膜，紙張等的厚度。常用的同位素射線有γ射線、β射線等。