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我國“超級針”X射線成像系統(tǒng)成功實現(xiàn)自主研制

作者: 2018年11月09日 來源:全球化工設備網 瀏覽量:
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【中國化工儀器網行業(yè)動態(tài)】近日,中國電科38所發(fā)布自主研制的新一代無損檢測設備——“超級針”X射線成像系統(tǒng),這是全國首臺“超級針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛&rd
  【中國化工儀器網 行業(yè)動態(tài)】近日,中國電科38所發(fā)布自主研制的新一代無損檢測設備——“超級針”X射線成像系統(tǒng),這是全國首臺“超級針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力,成像分辨率小于1微米。
 

隨著集成電路向高集成度、微型化方向發(fā)展,先進封裝工藝對封裝檢測設備提出新的需求和挑戰(zhàn)。一方面,更精細的封裝尺度要求設備分辨率提升至亞微米級,但目前國際上可生產亞微米級分辨率設備的廠商屈指可數(shù);另一方面,隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料,對輕元素材料的檢測需求日益凸顯,對設備檢測范圍提出了更高要求。因此,更高分辨率、更高對比度、更大檢測范圍的X射線檢測設備,已成為集成電路封裝檢測行業(yè)發(fā)展的迫切需要。
 
  微焦點X射線成像系統(tǒng)是工業(yè)無損檢測的常規(guī)必備設備,廣泛應用于集成電路、電子器件等各種器材的無損檢測,能夠觀察物體內部的精細結構,其中X射線源的性能則直接決定了此類設備的檢測能力。超級針是一種理論上的最佳電子源。
 
  2011年,中國電科38所首次提出將超級針應用于微焦點X射線源的開發(fā)。經過近十年的技術攻關,超級針X射線成像系統(tǒng)最終順利問世。目前,中國電科38所針對該產品已申請30余項國內外發(fā)明專利,其中申請美、日、歐等國際專利12項。
 
  “超級針”X射線成像系統(tǒng)采用獨特的“超級針”X射線源專利技術,可在圖像增強器上形成被掃描物體的透視圖像。該設備采用全國首創(chuàng)的“超級針”X射線源,因而以“超級針”冠名,具有成像清晰、性能穩(wěn)定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優(yōu)點。
 
  中國電科38所相關負責人表示,基于超級針X射線源技術,可面向集成電路、軍工航天、汽車電子、醫(yī)療診斷等不同應用領域,開發(fā)系列超級針X射線成像設備,實現(xiàn)產品系列化、多樣化開發(fā),未來具有較大發(fā)展前景。
 
  (資料來源:安徽日報、新華網、搜狐新聞)
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