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激光共聚焦顯微鏡在膜厚三維形貌測量中是如何提高工作效率的?

作者: 2019年05月16日 來源:全球化工設(shè)備網(wǎng) 瀏覽量:
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需要在高度方向上做掃描,得到一系列的切片圖,然后進(jìn)行圖像疊加并得到三維圖像,從而提高景深范圍。相對于傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡,激光共聚焦顯微鏡其橫向分辨率提高40%以上,優(yōu)秀可達(dá)120nm。激光共聚焦顯微鏡樣品適用性

需要在高度方向上做掃描,得到一系列的切片圖,然后進(jìn)行圖像疊加并得到三維圖像,從而提高景深范圍。相對于傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡,激光共聚焦顯微鏡其橫向分辨率提高40%以上,優(yōu)秀可達(dá)120nm。激光共聚焦顯微鏡樣品適用性強(qiáng),非接觸測試,無需樣品制備和導(dǎo)電性處理,對樣品無損傷(粉末、軟性樣品以及透明樣品均可測試)。激光共聚焦顯微鏡豐富的測量結(jié)果,高分辨二維及三維成像、多種二維及三維顯示結(jié)果對比、大面積圖像拼接、非接粗糙度測量、膜厚測量、熒光分析等。簡便的操作及維護(hù),激光共聚焦顯微鏡無昂貴的耗材、模塊化設(shè)計、人性化的操作軟件、自動校正程序等。
激光共聚焦顯微鏡在提高有效信號的基礎(chǔ)上,大大降低噪音信號,使得高質(zhì)量的熒光圖像成為可能。利用“對焦(焦點)時反射光量最大”這一共焦原理的顯微鏡測量精度,會受到正確讀取反射光量峰值的能力的較 大影響。構(gòu)成共焦光學(xué)系統(tǒng)的方式有很多。有些形狀測量激光顯微系統(tǒng)所采用的“針孔共聚焦方式”。針孔共聚焦方式是在光接收元件的前面設(shè)計了針孔。針孔的直徑僅為數(shù)十μm,其功能是在不對焦時切斷反射光。,通常的光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦點光學(xué)系統(tǒng)的反射光均會進(jìn)入光接收元件。觀察“未對焦時”,通常光學(xué)系統(tǒng)的反射光(焦點模糊光線)會進(jìn)入光接收元件,但激光共焦點光學(xué)系統(tǒng)的反射光(焦點模糊光線)則會被針孔切斷。即只有在對焦時反射光才會進(jìn)入光接收元件,以此為依據(jù)構(gòu)成共焦光學(xué)系統(tǒng)。
無論是材料表面形貌組織結(jié)構(gòu)分析,還是表面輪廓度,激光共聚焦顯微鏡都可以呈現(xiàn)細(xì)節(jié)清晰、高襯度的圖像。增強(qiáng)靈敏度,減少背景噪音是激光共聚焦顯微鏡在高端應(yīng)用的先決條件。激光共聚焦顯微鏡卓越的靈敏度、杰出的降噪音技術(shù)和激發(fā)激光技術(shù),也能保證輸出較好的結(jié)果。
激光共聚焦顯微鏡更少的機(jī)械運(yùn)動,尤其是在光譜成像時,以及更穩(wěn)定的設(shè)計,保證提供更快的、不間斷的令人信服的實驗結(jié)果。整合多個個檢測器在共聚焦中,可以可靠而無偏離的重現(xiàn)用戶的測量。平行光譜檢測可以在波長模式下同時讀出通道更多的的信號。另外,其特殊的采集模式可以將光譜分辨率大大提高。

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