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“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項(xiàng)目獲立項(xiàng)

作者: 2013年09月17日 來源: 瀏覽量:
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日前,沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學(xué)聯(lián)合申報(bào)的“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項(xiàng)目獲得國家自然科學(xué)基金委員會(huì)立項(xiàng)批復(fù),項(xiàng)目總經(jīng)費(fèi)78萬元。

  日前,沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學(xué)聯(lián)合申報(bào)的“高固有頻率納米膜壓阻加速度傳感器研究”項(xiàng)目獲得國家自然科學(xué)基金委員會(huì)立項(xiàng)批復(fù),項(xiàng)目總經(jīng)費(fèi)78萬元。

  該項(xiàng)目由沈陽儀表研究院與沈陽工業(yè)大學(xué)聯(lián)合申報(bào),執(zhí)行年限為2014年1月至2017年12月。該項(xiàng)目將設(shè)計(jì)一種MEMS加速度傳感器,帶有主梁和超薄敏感微梁,主要基于納米功能材料來實(shí)現(xiàn)。

  該MEMS加速度傳感器的靈敏度和溫度特性大大得到提升,主要得益于納米膜壓阻微梁之超常的機(jī)械特性,以及良好的壓阻特性。目前加速傳感器中普遍存在著諧振頻率與靈敏度相互制約的難題,而如何解決這一難題成為業(yè)內(nèi)的一大挑戰(zhàn)。該項(xiàng)目將通過對(duì)該敏感結(jié)構(gòu)之主梁和微梁的合理設(shè)計(jì),解決該難題,并實(shí)現(xiàn)均衡提高固有諧振頻率和靈敏度。

  利用納米膜壓阻微梁之超常的機(jī)械特性和良好的壓阻特性,提高靈敏度,改善溫度特性;通過對(duì)該敏感結(jié)構(gòu)之主梁和微梁的合理設(shè)計(jì),解決加速度傳感器中普遍存在的諧振頻率與靈敏度相互制約的難題,達(dá)到均衡提高固有諧振頻率和靈敏度的目的;突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關(guān)鍵技術(shù),研制出新型加速度傳感器樣品,并最終驗(yàn)證這種壓阻加速度傳感器的可行性及優(yōu)勢(shì)。

  該項(xiàng)目的開展可望在隧道壓阻效應(yīng)、納米復(fù)合膜微梁力學(xué)特性以及新型加速度傳感器技術(shù)等方面的研究中獲得創(chuàng)新性成果。在傳感技術(shù)日益受到高度重視的背景下,這些成果將具有廣闊的應(yīng)用前景。

  研究人員將突破微梁加工和芯片鈍化、封裝等關(guān)鍵技術(shù),研制出新型加速度傳感器樣品,并對(duì)其可行性和優(yōu)勢(shì)進(jìn)行驗(yàn)證。該項(xiàng)目對(duì)于推進(jìn)我國在隧道壓阻效應(yīng)、納米復(fù)合膜微梁力學(xué)特性以及新型加速度傳感器技術(shù)等方面的研究具有重要意義,并為更深入和廣闊的應(yīng)用提供了可能。

  國產(chǎn)傳感器的發(fā)展起步?jīng)]有國外早,尤其是國外一些高端技術(shù)的傳感器,有些甚至目前在我國都沒有那種技術(shù)去實(shí)現(xiàn)。但是隨著傳感器應(yīng)用范圍的擴(kuò)大,我國有且需要技術(shù)精湛的人員去開發(fā)。

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