TESCOM™ 10-X系列是微型超高純度和高精度的 IGS/VCR®減壓型調(diào)壓閥，適用于2至100標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘（SLPM）的高純氣體，具備卓越的高靈敏度壓力控制能力，在廣泛的應(yīng)用中提供優(yōu)越性能，尤其適用于高級 OEM 氣體系統(tǒng)、氣箱和低壓氣柜等精密環(huán)境。

自由閥芯設(shè)計(jì)能夠有效減少磨損和卡滯風(fēng)險，在微型元件中提供卓越的壓降和重復(fù)。膜片與閥體之間采用金屬對金屬密封，提供整體的高度密封性，降低泄露風(fēng)險。

同時，閥體采用316L VAR不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕、耐高溫，確保了調(diào)壓閥在嚴(yán)苛工況下的長期穩(wěn)定性和耐久性。具有10 Ra微英寸的內(nèi)部表面光潔度，有效減少了氣體流動過程中的摩擦和顆粒產(chǎn)生，能夠減少氣體中的雜質(zhì)。這些設(shè)計(jì)顯著提升微電子元件制造工藝的總體可靠性，確保良率。

簡化的負(fù)載機(jī)制和緊湊的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，使設(shè)備能夠在有限的空間內(nèi)靈活安裝，滿足了微電子元件制造對設(shè)備緊湊性的需求。憑借其高可靠性和簡易維護(hù)設(shè)計(jì)，能顯著減少設(shè)備停機(jī)時間，保持生產(chǎn)線的平穩(wěn)運(yùn)行。