真空泵選型注意事項

作者： 2013年07月18日來源：瀏覽量：

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1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強請求。如：真空鍍膜請求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強請求。如：真空鍍膜請求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。

2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因此，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵能夠在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因此，有時選用一種泵不能滿足抽氣請求，需求幾種泵組合起來，相互補充才干滿足抽氣請求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空安裝得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需求預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需求前級泵，故都需求把泵組合起來運用。

5、真空設備對油污染的請求。若設備嚴厲請求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。假如請求不嚴厲，能夠選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能到達清潔真空請求。

6、理解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需求曉得氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。假如氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該思索在泵的進氣口管路上裝置輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。假如環境不允許有污染，能夠選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9、真空泵的價錢、運轉及維修費用。

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