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模塊化設(shè)計(jì)
真空腔室的模塊化設(shè)計(jì)和加工(2013-11-26)
該設(shè)備屬生產(chǎn)設(shè)備，主要功能包括：鈦/鋯磁控濺射鍍裝飾膜，反應(yīng)膜、復(fù)合膜。其它功能還包括：行星旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)、負(fù)偏壓輔助沉積、PLC+HMI真空自動(dòng)/手動(dòng)控制、水冷循環(huán)及斷水保護(hù)系統(tǒng)，預(yù)留多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)接口。…[詳情]
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